用于大尺寸束控制应用的多轴、大倾角、晶片级微镜阵列

摘要

一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统(120)，包括配置为支撑反射元件(130)阵列的第一衬底(144)，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号在整个基本上90度的范围内进行角度移位，还包括控制器，其被编程为产生反射器角度控制信号以实现期望的入射能量、束或波前重定向。反射元件(130)优选包括铰接地或可移动地附接至第一衬底(130)上的MEMS微反射器元件，并且限定瞄准入射的光、微波或声能的源的反射表面。

主权项

一种用于反射或重定向入射的光、微波或声能的系统，包括：(a)第一平台衬底，被配置为铰接地支撑大倾角微镜阵列，所述微镜阵列包括多个反射元件，所述反射元件能够响应于反射器角度控制信号进行角度移位；(b)第二基础衬底，被配置为可旋转地支撑所述第一衬底，以响应于平台方位角控制信号旋转；以及(c)中央或远程控制器，被编程为产生所述反射器角度控制信号和所述平台方位角控制信号来实现期望的入射能量束或波前的重定向。