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发明名称 UV ABSORPTION BASED MONITOR AND CONTROL OF CHLORIDE GAS STREAM
摘要
申请公布号 EP2329056(A1) 申请公布日期 2011.06.08
申请号 EP20090744729 申请日期 2009.07.21
申请人 SOITEC 发明人 BERTRAM, RONALD, THOMAS, JR.;ARENA, CHANTAL;WERKHOVEN, CHRISTIAAN, J.;TISCHLER, MICHAEL, ALBERT;VORSA, VASIL;JOHNSON, ANDREW, D.
分类号 C23C16/52;C23C16/30;C30B25/16;C30B29/40 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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