| 摘要 |
Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в тлеющем разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму азота повышенной плотности формируют в прикатодной области пучком сгенерированных и ускоренных вспомогательным анодом электронов, при этом электроны, вылетающие из электронной пушки, направляют к положительно заряженной пластине и к вспомогательному аноду, создавая электронный газовый поток, который обеспечивает высокую скорость столкновений электронов с нейтральными частицами и поддерживает существование плазмы, а скоростью движения электронов управляют посредством вспомогательного анода, подключенного к собственному источнику питания. |
