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<p>Dispositivo (10) para aplicar una capa de líquido delgada uniforme, especialmente de ácido fosfórico, sobre sustratos (12), especialmente celdas de silicio para la fotovoltaica, con una cámara de proceso (14) que está provista de una cubeta de líquido (16) y de un dispositivo de sonidos de alta frecuencia (11) que convierte el líquido en niebla de líquido (15), y con un dispositivo de transporte (13) dispuesto por debajo de un pozo de caída para niebla de líquido (25) de la cámara de proceso (14) para los sustratos (12), caracterizado porque el pozo de caída para niebla de líquido (25) de la cámara de proceso (14) experimenta un estrechamiento de su sección transversal interior hacia el dispositivo de transporte (13) y desemboca en una disposición del pozo de paso (40) para los sustratos (12) que cubre el dispositivo de transporte (13), y porque las secciones transversales internas del extremo de desembocadura del pozo de caída para niebla de líquido (25) y de la disposición del pozo de paso (40) están coordinadas entre sí, preferiblemente son esencialmente iguales.</p> |
