Method of forming a pattern of a semi conductor,申请号KR20090005073-传众专利搜索

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发明名称	Method of forming a pattern of a semi conductor
摘要
申请公布号	KR101001483(B1)	申请公布日期	2010.12.14
申请号	KR20090005073	申请日期	2009.01.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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