发明名称 PROBE CARD, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101001493(B1) 申请公布日期 2010.12.14
申请号 KR20080057542 申请日期 2008.06.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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