| 主权项 |
一种基板搬送装置，系沿真空室内的搬送通路而搬送基板者，其特征在于具备由安装有保持基板的基板托架(tray)之载送器、搬送上述载送器之载送器搬送机构；以及沿搬送通路，以非接触方式对上述载送器的上部进行导引之载送器导引机构；上述导引机构系由在略垂直方向上被磁化之第一磁铁排及在略垂直方向上被磁化之第二磁铁排按照相互吸引的方式而设置，该第一磁铁排系沿搬送方向安装于上述载送器的上部之一个或多个磁铁，该第二磁铁排系在该第一磁铁排的上方或下方，按照指定间距隔开，沿搬送通路安装固定于真空室之一个或多个磁铁。如申请专利范围第1项之基板搬送装置，其中，按照使相邻磁铁排之间之磁化方向相反的方式，将上述第一磁铁排及上述第二磁铁排以多排设置在垂直于搬送方向之方向。如申请专利范围第1项之基板搬送装置，其中，将上述第二磁铁排设置为较上述第一磁铁排更为上方处。如申请专利范围第2项之基板搬送装置，其中，将上述第二磁铁排设置为较上述第一磁铁排更为上方处。如申请专利范围第1至4项中任一项之基板搬送装置，其中，上述第一磁铁排及/或第二磁铁排中之上述多个磁铁系按照间距隔开的方式安装。如申请专利范围第1至4项中任一项之基板搬送装置，其中，上述基板托架具有用以从处理面之相反侧对基板加热之开口。如申请专利范围第1至4项中任一项之基板搬送装置，其中，上述指定角度相对于垂直方向为0.5~3°。如申请专利范围第1至4项中任一项之基板搬送装置，其中，上述载送器系按照上述两个基板托架相互面对的方式而安装之载送器，以将在该载送器上部之相对于垂直于搬送方向之力之磁铁阻力，除以搬送方向之上述基板托架之长度所得到的值为5.9~102.9N/m之方式，设置上述第一磁铁排及第二磁铁排。 |
