| 主权项 |
一种多工式晶圆烘烤加工系统，其包含有：一机架；一晶圆馈入装置，系设置在该机架上，且可横向移动晶圆；一十字型多工移载装置，系设置在该机架上，可接收来自晶圆馈入装置的晶圆，且具有一基座、一垂直升降座以及一旋转盘，该基座设置在机架上，该垂直升降座以可垂直滑动方式设置在该基座上，该旋转盘以可旋转方式设置在该垂直升降座上，且在旋转盘上设置有至少四支自旋转盘上径向向外突出的承载臂以用于承载晶圆；一环型烘烤装置，系设置在机架上，与十字型多工移载装置相对，且具有一中央转盘、复数晶圆收放架、以及复数烤盘组件，该中央转盘系以可旋转方式设置在机架上，该复数晶圆收放架系径向分布在中央转盘周缘，且可抓取来自十字型多工移载装置的晶圆，该复数烤盘组件系固定在机架上并且以环绕方式定位于中央转盘与晶圆收放架外围，且各烤盘组件可接受来自于相对应的晶圆收放架的晶圆，该并对该晶圆进行烘烤；以及一馈出装置，系设置在机架上，可接收来自十字型多工移载装置上已烘烤好的晶圆。如申请专利范围第1项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中该十字型多工移载装置的旋转盘可依序执行上升、旋转、下降的动作，来分别进行对晶圆的抓取、移动、摆放程序。如申请专利范围第2项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中十字型多工移载装置位于环型烘烤装置的六点钟方向，且该四支承载臂预设位置分别位于的旋转盘的六点钟、九点钟、十二点钟以及三点钟方向，其中：原位于十二点钟方向的承载臂上升将六点钟方向的晶圆收放架上烘烤好的晶圆取走，旋转到三点钟方向，接着下降将烘烤好的晶圆交给馈出装置；原位于九点钟方向的晶圆上升旋转到十二点钟的方向而位于六点钟方向的晶圆收放架上方，接着下降将晶圆交给晶圆收放架；原位于六点钟方向的承载臂可上升取晶圆馈入装置上的晶圆，并且旋转到九点钟方向后下降。如申请专利范围第3项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中各晶圆收放架具有一固定架、一传动装置以及二开关闸臂；该固定架固定在中央转盘上；该传动装置固定在固定架上；两开关闸臂以可轴向旋转方式设置在固定架上，且与传动装置连接，使两开关闸臂可对进行对称旋转到达水平位置来承载晶圆或是到达垂直位置来放开晶圆。如申请专利范围第4项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中各晶圆收放架的各开关闸臂上形成有复数大小相异的放置槽以承载不同尺寸的晶圆。如申请专利范围第5项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中各烤盘组件分别具有一座体、一烤盘以及复数顶针，该座体固定在机架上，该烤盘固定在座体上，该复数顶针以可垂直上下伸缩的方式贯穿设置在烤盘上，且可穿出烤盘将晶圆顶起或是缩入烤盘内以将晶圆降到烤盘表面。如申请专利范围第6项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中烤盘组件数量少于晶圆收放架数量的一个以上，使其中两相邻的烤盘组件之间有一交握间隔以供十字型多工移载装置与相对应晶圆收放架进行交握。如申请专利范围第7项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中烤盘组件数量少于晶圆收放架数量的两个以上，使得除了其中两相邻烤盘组件腾出前述的交握间隔之外，令在其他两相邻烤盘组件之间腾出缓冲间隔，藉此避免晶圆的烘烤温度骤变。如申请专利范围第8项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中各烤盘组件的烤盘上有至少一组撑立突块以将晶圆撑立悬空于烤盘上。如申请专利范围第9项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中所有烤盘的温度均不同。如申请专利范围第10项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中晶圆馈入装置包含至少一晶圆携带卡匣、一皮带运输装置以及一横向移载装置；该晶圆携带卡匣以可拆卸方式设置在该机架上并且位于十字型多工移载装置的九点钟方向，且该晶圆携带卡匣上形成有复数晶圆槽以容纳晶圆；该皮带运输装置设置在机架上且介于晶圆携带卡匣与十字型多工移载装置之间，并且可运送晶圆携带卡匣的晶圆；该横向移载装置具有一滑座、一滑件以及一伸缩臂，该滑座固定在机架上且位于十字型多工移载装置的六点钟方向，该滑座上设置有一滑轨，该滑件系以可横向滑动方式设置在滑座的滑轨上，且滑件上设置有一伸缩传动组件，该伸缩臂设置在该伸缩传动组件上且可相对滑座进行纵向伸缩以将晶圆传递给十字型多工移载装置六点钟方向上的承载臂。如申请专利范围第11项所述之多工式晶圆烘烤加工系统，其中馈出装置包含一晶圆携带卡匣以及一皮带运输装置；该晶圆携带卡匣以可拆卸方式设置在机架上且位于十字型多工移载装置的三点钟方向，该皮带运输装置设置在机架上且介于十字型多工移载装置与晶圆携带卡匣之间。 |
