发明名称 电路图案形成方法及电路图案形成装置
摘要
申请公布号 TWI334751 申请公布日期 2010.12.11
申请号 TW095122502 申请日期 2006.06.22
申请人 佳能股份有限公司 发明人 古川雅朗;鹤冈裕二;毛利孝志;山口敦人;神谷诚一
分类号 H05K3/14 主分类号 H05K3/14
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种具有预定厚度之导电图案与绝缘图案的电路图案形成方法,其包含步骤:依据于第一头扫描的同时,以该第一头射出之主液滴所产生的外围液滴数量的检查结果,决定予以连续形成的该导电图案的层数目,该第一头射出用以形成该导电图案的第一溶液,执行多数次在第一头与一基材彼此相对地扫描的同时,形成一扫描之一导电图案的步骤,直到形成在该基材上的该导电图案具有一预定厚度为止,该第一头将第一溶液射至该基材上;及执行多数次在一第二头与该基材彼此相对地扫描的同时,该第二头将一第二溶液射至该基材上,以形成该绝缘图案,形成一扫描之一绝缘图案的步骤,直到形成在该基材上的该绝缘图案具有一预定厚度为止;其中,当在基材上,形成彼此邻接的该导电图案与该绝缘图案时,在该导电图案形成步骤被执行多数次的同时,执行至少一扫描的该绝缘图案形成步骤。如申请专利范围第1项所述之电路图案形成方法,其中当在该基材上,形成彼此邻接的该导电图案与该绝缘图案时,该导电图案形成步骤与该绝缘图案形成步骤系在同一扫描内执行,以及,该扫描系被重覆多数次,直到该电路图案具有一预定厚度为止。如申请专利范围第1项所述之电路图案形成方法,更包含固定每一扫描中施加至该基材上的溶液于该基板上之步骤。一种电路图案形成装置,该电路图案具有预定厚度的导电图案及绝缘图案,该装置包含:一第一头,射出一第一溶液,以形成该导电图案;决定装置,依据于第一头扫描的同时,以该第一头射出之主液滴所产生的外围液滴数量的检查结果,决定予以连续形成的该导电图案的层数目,执行控制机构,用以执行对执行一扫描之形成该导电图案的操作多数次的控制,直到在一基材上的该导电图案具有一预定厚度为止,该一次扫描形成的导电图案的该操作系藉由彼此相对地扫描该第一头与该基材,同时,使得该第一头射出该第一溶液至该基材上加以执行;一第二头,射出一第二溶液以形成该绝缘图案;及执行控制机构,用以执行对执行一扫描之形成该绝缘图案的操作多数次的控制,直到在该基材上的该绝缘图案具有一预定厚度为止,该形成扫描的绝缘图案的该操作系藉由彼此相对地扫描该第二头与该基材,同时,使得该第二头射出该第二溶液至该基材上加以执行;其中,当在该基材上形成彼此邻接的该导电图案与该绝缘图案时,该至少一扫描绝缘图案的该形成操作系被执行在被多数次执行该导电图案形成操作之间,直到该导电图案具有一预定厚度为止。如申请专利范围第4项所述之电路图案形成装置,其中该第一头与该第二头在该基材上的扫描方向中,系以边靠边方式排列,当在该基材上,形成彼此邻接之该导电图案与该绝缘图案时,该导电图案形成操作与该绝缘图案形成操作系在同一扫描内被执行,及该扫描系被控制以重覆多数次,直到该电路图案具有一预定厚度为止。
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