| 主权项 |
一种用于高精密垂直仪台座作Z轴轴向调整之平面三点自动定位装置，包含有：一脚座套筒；系装置在高精密垂直仪台座上，该脚座套筒加工有固锁用外螺牙，螺丝固定孔，内牙通孔，逃隙口1，内孔，固锁用外螺牙提供固定帽将脚座套筒固锁在台座，内牙通孔提供内六角无头微调螺丝装入作微动调整，螺丝固定孔提供封盖固锁，内孔空间系提供装入气浮脚座，开挖之逃隙口1为进气节流接头通道，以及一气浮脚座；系装置在脚座套筒内孔，该气浮脚座加工有钢珠固定孔，定位槽，气咀连接孔，进气连接孔；钢珠固定孔提供放置磨光钢珠与六角无头微调螺丝内半圆球状端面组合形成自由活动关节功能，定位槽系提供埋头固定螺丝配装压缩弹簧组件定位回压，气咀连接孔提供装入宝石节流气咀，进气连接孔提供装上进气节流接头，气浮脚座端面系镜面精加工超平坦平面，可紧贴工作面也提供加压空气介质经由气咀吹出增压空气起动均衡浮起分离动作；一封盖；加工有固定牙孔与与逃隙口2，固定牙孔加工的位置是与脚座套筒上螺丝固定孔环状排列对称的，系装置在脚座套筒内孔外端，作为压缩弹簧组件定位撑压，提供结合固锁。如请求项次1所述用于高精密垂直仪台座作Z轴轴向调整之平面三点自动弹压定位装置，其中该脚座套筒，容易安装在台座，加工之内牙通孔提供装上之内六角无头微调螺丝可作极佳微动调整，内孔空间装置了结合钢珠的气浮脚座，与六角无头微调螺丝内半圆球状端面组合形成自由活动关节功能，可依归正动作自行调整定位出良好平贴平面状态。如请求项次1所述用于高精密垂直仪台座作Z轴轴向调整之平面三点自动弹压定位装置，其中该气浮脚座端面系镜面精加工超平坦平面，可贴紧工作基准平面，如因组合后重量问题产生与工作面贴合无法移动状况，可藉由提供加压空气介质，经由气咀吹出均衡气浮，分解贴合作移动功能，泄除进气可贴合捉紧工作基准平面，加工之定位槽可定位埋头固定螺丝，装配时提供压缩弹簧组件回压定位，端面加工之气咀连接孔提供装入之宝石节流气咀，有节流功用。如请求项次1所述用于高精密垂直仪台座作Z轴轴向调整之平面三点自动弹压定位装置，其中该封盖；加工之固定牙孔位置是与脚座套筒上螺丝固定孔、气浮脚座定位槽环状排列对称的，藉由穿过脚座套筒上方三个螺丝固定孔之埋头固定螺丝结合，作为气浮脚座定位槽上之压缩弹簧组件弹压定位支撑，提供结合固锁。 |
