| 摘要 |
1. Комплект зондов для использования в сканирующем зондовом микроскопе, причем комплект зондов содержит носитель, имеющий первое множество из по меньшей мере трех зондов, причем каждый зонд имеет головку, которая расположена на плоскости, которая является общей для множества головок зондов, и которая является подвижной относительно плоскости, отличающийся тем, что зонды, по существу, идентичны друг другу, и что комплект также включает в себя средство адресации, выполненное с возможностью выбора одного из множества зондов для относительного перемещения по отношению к большинству остальных зондов. ! 2. Комплект зондов по п.1, отличающийся тем, что носитель включает в себя средство для прикрепления к креплению на микроскопе. ! 3. Комплект зондов по п.1 или 2, отличающийся тем, что каждый зонд включает в себя упругую опорную балку, а средство адресации содержит по меньшей мере один дополнительный слой, нанесенный на опорную балку, причем дополнительный слой создан из материала, отличного от материала опорной балки, с образованием таким образом многослойной структуры, содержащей по меньшей мере два слоя с различным термическим расширением. ! 4. Комплект зондов по п.3, отличающийся тем, что многослойный материал нагревают посредством удаленного источника света. ! 5. Комплект зондов по п.1 или 2, отличающийся тем, что средство адресации включает в себя мультиплексор, в результате чего электрические соединения с носителем могут быть уменьшены. ! 6. Комплект зондов по п.3, отличающийся тем, что средство адресации включает в себя мультиплексор, в результате чего электрические соединения с носителем могут быть уменьшены. ! 7. Ко� |
