发明名称
摘要
申请公布号 JP2010538488(A) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 JP20100523950 申请日期 2008.09.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址