发明名称 Vereinheitlichte Teststruktur für belastungsabhängige Materialwanderungsprüfungen
摘要
申请公布号 DE102007020257(B4) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 DE20071020257 申请日期 2007.04.30
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 FEUSTEL, FRANK;LIMBECKER, PASCAL;AUBEL, OLIVER
分类号 H01L23/544;H01L21/66 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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