| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur zerstörungsfreien Detektion von Defekten im Inneren von Halbleitermaterial |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102008002832(B4) |
申请公布日期 |
2010.12.09 |
| 申请号 |
DE200810002832 |
申请日期 |
2008.04.24 |
| 申请人 |
INSTITUT FUER AKUSTOMIKROSKOPIE DR. KRAEMER GMBH |
发明人 |
KRAEMER, KLAUS |
| 分类号 |
G01N29/07;G01N29/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N29/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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