发明名称 Messeinrichtung, Messsystem und Verfahren zur Messung der Kontamination eines lichtdurchlässigen Messobjekts
摘要 Eine Messeinrichtung (20) zur Messung der Kontamination eines lichtdurchlässigen Messobjekts (7) umfasst eine Strahlungsquelle (1), eine Einkoppeleinrichtung (3) zur Einkopplung eines Strahls (2) in das Messobjekt (7), sodass der Strahl (2) im Messobjekt (7) geführt wird, eine Auskoppeleinrichtung (5) zur Auskopplung des Strahls (2) aus dem Messobjekt (7), einen Strahlungsdetektor (6) und eine Vergleichseinrichtung (10), die ausgebildet ist, einen Kennwert des detektierten Strahls (2) mit einem Referenzwert zu vergleichen.
申请公布号 DE102009023615(A1) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 DE200910023615 申请日期 2009.06.02
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH 发明人 HAAS, HEINZ;GAERTNER, JUERGEN
分类号 G01N21/59 主分类号 G01N21/59
代理机构 代理人
主权项
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