摘要 |
Eine Messeinrichtung (20) zur Messung der Kontamination eines lichtdurchlässigen Messobjekts (7) umfasst eine Strahlungsquelle (1), eine Einkoppeleinrichtung (3) zur Einkopplung eines Strahls (2) in das Messobjekt (7), sodass der Strahl (2) im Messobjekt (7) geführt wird, eine Auskoppeleinrichtung (5) zur Auskopplung des Strahls (2) aus dem Messobjekt (7), einen Strahlungsdetektor (6) und eine Vergleichseinrichtung (10), die ausgebildet ist, einen Kennwert des detektierten Strahls (2) mit einem Referenzwert zu vergleichen.
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