发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mit hochpräzisem Kantenprofil
摘要
申请公布号 DE102006037267(B4) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 DE200610037267 申请日期 2006.08.09
申请人 SILTRONIC AG 发明人 WAGNER, PETER;GERBER, HANS-ADOLF;MOSER, JOERG;HUBER, ANTON
分类号 H01L21/302;C30B33/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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