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发明名称 Deposition apparatus for substrate
摘要
申请公布号 KR101000094(B1) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 KR20070079665 申请日期 2007.08.08
申请人 发明人
分类号 C23C16/00;C23C16/50 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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