| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Beschichtungsanlage, enthaltend zumindest einen evakuierbaren Rezipienten, welcher zur Aufnahme eines Substrates vorgesehen ist, zumindest eine Gaszufuhreinrichtung, mittels welcher zumindest ein gasförmiger Prekursor in den Rezipienten einleitbar ist und zumindest ein beheizbares Aktivierungselement, welches eine vorgebbare Längsausdehnung aufweist und mittels zumindest einer zugeordneten mechanischen Befestigungsvorrichtung befestigt ist, wobei dem Aktivierungselement über zumindest zwei Kontaktelemente ein elektrischer Strom zuführbar ist und die Kontaktelemente relativ zum Rezipienten nahezu unbeweglich befestigt sind und das Aktivierungselement relativ zum Rezipienten bewegbar angeordnet ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein korrespondierendes Beschichtungsverfahren.</p> |
| 申请人 |
FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;HARIG, TINO;HOEFER, MARKUS;LAUKART, ARTUR;SCHAEFER, LOTHAR;ARMGARDT, MARKUS |
发明人 |
HARIG, TINO;HOEFER, MARKUS;LAUKART, ARTUR;SCHAEFER, LOTHAR;ARMGARDT, MARKUS |
