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发明名称 EPITAXIEREAKTOR FÜR DIE MASSENFERTIGUNG VON WAFERN
摘要
申请公布号 DE602006017904(D1) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 DE200660017904T 申请日期 2006.06.15
申请人 UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID 发明人 LUQUE LOPEZ, ANTONIO;ZAMORANO SAAVEDRA, J.C.;TOBIAS GALICIA, IGNACIO;RODRIGUEZ SAN SEGUNDO, H.J.
分类号 C30B25/12;C30B25/02;C30B25/08;C30B25/14 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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