发明名称 电晶体装置
摘要
申请公布号 TWI335079 申请公布日期 2010.12.21
申请号 TW093118774 申请日期 2004.06.28
申请人 惠普研发公司 美国;俄勒冈州立大学 美国 发明人 贺夫曼 兰迪;华格 约翰
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种电晶体装置,包含:一p型实质透明铜铁矿材料的通道;一与该通道交接之源极触点;一与该通道交接之汲极触点;一闸极触点;及设于该闸极触点和该通道之间之闸介电层。如申请专利范围第1项之装置,其中该闸极触点系设在一基材上方,而该闸介电层设在闸极触点上方,且该通道系设在闸介电层上方。如申请专利范围第2项之装置,其中该等闸极、源极和汲极触点会被图案化来形成一电路互接图案。如申请专利范围第3项之装置,更包含一n型透明通道电晶体,其连接通过该电路互接图案来形成一CMOS电路。如申请专利范围第1项之装置,其中该铜铁矿材料系选自下列组群:CuScO2,CuAlO2,CuYO2,CuFeO2,CuCrO2,CuGaO2,CuInO2,AgCoO2,AgGaO2,AgInO2,AgScO2,及AgCrO2。如申请专利范围第5项之装置,其中该等源极、汲极、闸极触点包含一经掺杂的半导体,其系选自下列组群:GaN,BaCu2S2,NiO,Cu2O,CuScO2,CuAlO2,CuYO2,CuFeO2,CuCrO2,CuGaO2,CuInO2,AgCoO2,AgGaO2,AgInO2,AgScO2,AgCrO2。如申请专利范围第1项之装置,其中该等源极和汲极触点系设在一基材上方,该通道亦设在该基材上方,而该闸介电层系设在该等源极触点和汲极触点与该通道的上方。如申请专利范围第1项之装置,其中该等源极、汲极和闸极触点之每一个与该闸介电层皆由一透明材料所制成,而使该装置形成一透明装置。如申请专利范围第1项之装置,其中该p型实质透明铜铁矿材料包含未掺杂或微掺杂的铜铁矿材料。如申请专利范围第1项之装置,系被制成一薄膜装置。
地址 美国;美国
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