| 主权项 |
一种半导体化学浸泡制程用载具，其系包含有：一提持部(1)，其包含一提架(11)以及二分别设置于该提架(11)两侧之夹固架(12)；一浸泡装置(2)，其系设置于二夹固架(12)之间并与夹固架(12)相连接，且该浸泡装置(2)包含有复数个堆叠组合之浸泡载具(21)，该浸泡载具(21)系包含一元件置放槽(211)及分别接设于元件置放槽(211)两侧之二调节装置(212)，该调节装置(212)外侧设置有一夹固装置(213)，该调节装置(212)两侧则分别设置有一调节孔(2121)，且二调节装置(212)上相对的二调节孔(2121)内设置有一挡止装置(214)。 |
