| 主权项 |
一种用以传送及/或储存光罩基板之光罩基板容器装置，该光罩基板容器装置包含：一保持部件，用以保持该光罩基板以一预定倾斜角度于一倾斜状态中；以及一壳体，用以接收该光罩基板于其中。如申请专利范围第1项之光罩基板容器装置，其中该光罩基板之倾斜角度系相对于水平轴为45到80度。如申请专利范围第2项之光罩基板容器装置，其中该保持部件系提供于该壳体之内部，并保持该光罩基板于该壳体之内部。如申请专利范围第3项之光罩基板容器装置，其中该保持部件包含一放置部件，用以暂时接收该光罩基板于其上，以及一末端表面加压器，用以加压放置于该放置部件上之光罩基板之末端表面。如申请专利范围第4项之光罩基板容器装置，其中该保持部件更包含一主表面加压器，用以加压该光罩基板之一主要表面。如申请专利范围第3项之光罩基板容器装置，其中该壳体包含一外部箱与一盖，以形成一接收开口，该用以放入与取出该光罩基板之接收开口，形成为可延伸至该外部箱之一上表面，一前表面与二侧表面上。如申请专利范围第6项之光罩基板容器装置，其中从一侧表面观察该接收开口系相对于该外部箱而倾斜地形成，并且其中之倾斜角度实质上相等于由该保持部件所保持之该光罩基板之倾斜角度。如申请专利范围第2项之光罩基板容器装置，其中该保持部件可提供于该壳体外部并以倾斜状态保持接收该光罩基板于其中之壳体。一种光罩基板传送方法，其依据申请专利范围第1至8项中任一项之光罩基板容器装置中，以预定倾斜角度于倾斜状态下保持该光罩基板，并于维持该倾斜角度时传送该光罩基板。一种光罩产品制造方法，其包含至少一光罩基板生产步骤，一基板形成步骤，以及一检查步骤，其中该方法依据申请专利范围第1至8项中任一项之光罩基板容器装置中，以预定倾斜角度于倾斜状态下保持该光罩基板，并于维持该倾斜角度时，于该些步骤之间执行该光罩基板之传送及/或储存。一种用以曝露一光线至光罩并传送一形成于其上之图案于一物件之光罩曝光方法，包含下列步骤：依据申请专利范围第1至8项中任一项之光罩基板容器装置中以预定倾斜角度，于倾斜状态下放置该光罩基板；当该光罩基板以该预定倾斜角度于倾斜状态下放置于其中时，传送该光罩基板容器装置至一曝光设备；以及从该光罩基板容器装置取出该光罩基板并安置该光罩基板于该曝光设备中。 |
