无尘室Ｖ型风机乾盘管机组结构改良

主权项

一种无尘室V型风机乾盘管机组结构改良，其包括：一机壳，该机壳底部设有一滤网架，上部则设有出风口，出风口上设置一保护网；一高效率滤网，其装设于机壳底部之滤网架上而形成一回风口；一V型乾盘管，其装设于高效率滤网上方，该V型乾盘管上设有可连接至冷却系统之冷却水进水口及回水口以及多点结露感测器与控制阀，底部则装设一排水盘者；一送风风机，其安装于回风口上方；由上述元件组成之V型风机乾盘管机组系安装于无尘室中制程设备上方之天花板上，制程设备产生之热气向上经由该高效率滤网及V型乾盘管所形成之回风口后，可藉由送风风机导引经机壳上部之出风口送至天花板气室内，再经由安装于天花板气室上之风机滤网机组向下提供单一方向流之洁净空气至无尘室者。