发明名称 研磨工具
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.07.21
申请号 TW100201615 申请日期 2011.01.25
申请人 颜天渊 发明人 颜天渊
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种研磨工具,包含:一研磨基材,具有一研磨侧及多数形成在该研磨侧而朝外突出的凸起部,每一凸起部具有一基底端、一研磨端及一自该基底端朝该研磨端渐缩的截面;及多数研磨碎粒,不规则地埋设于每一凸起部,且往外突出于每一凸起部,至少一部份该等研磨碎粒为片状且具有自对应之凸起部的研磨端朝外突出的锐角。依据申请专利范围第1项所述之研磨工具,其中,该等研磨碎粒具有不规则形状及一介于美规筛网270-20目的粒径。依据申请专利范围第1项所述之研磨工具,其中,每两相邻凸起部之间界定出一凹槽。依据申请专利范围第1项所述之研磨工具,其中,每一凸起部具有一角锥形状,该角锥形状具有一介于80°-140°范围的顶角。依据申请专利范围第4项所述之研磨工具,其中,该角锥形状的顶角系介于100°-130°范围。依据申请专利范围第1项所述之研磨工具,其中,该研磨基材是由一种树脂所制得。
地址 新北市土城区忠承路101号3楼