PROCEDE DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT COMPRENANT UNE ETAPE D'AMINCISSEMENT AVEC ARRET A DETECTION D'UNE ZONE POREUSE

摘要

Un procédé de fabrication d'un substrat comprenant une étape d'amincissement de l'épaisseur du substrat est décrit. Le procédé est caractérisé par le fait qu'il comporte les étapes suivantes : la formation d'une zone poreuse dans une couche intérieure du substrat ; l'amincissement progressif de l'épaisseur du substrat en direction de la couche intérieure comprenant la zone poreuse ; la finalisation de l'amincissement progressif par polissage ; et un arrêt contrôlé du polissage à détection de la zone poreuse.