具监控排气端气体特性功能之晶圆载具气体填充装置

主权项

一种具监控排气端气体特性功能之晶圆载具气体填充装置，包含：一质量流量控制器；一进气端，系连接该质量流量控制器；一排气端；一集气盒，系连接该排气端；一气体特性量测器，系连接该集气盒；其中，于应用时，该进气端与该排气端系连接至一晶圆载具，并透过该质量流量控制器控制，经由该进气端填充一气体至该晶圆载具中；该晶圆载具所排出之气体系透过该气体特性量测器量测一气体特性之数值大小后，再经由该排气端排出。