| 发明名称 |
簇射板及使用该板之电浆处理装置，电浆处理方法及电子装置之制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI353630 |
申请公布日期 |
2011.12.01 |
| 申请号 |
TW096121393 |
申请日期 |
2007.06.13 |
| 申请人 |
東京威力科創股份有限公司 日本;國立大學法人東北大學 日本 |
发明人 |
桶作正广;后藤哲也;大见忠弘;石桥清隆 |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
| 主权项 |
一种簇射板，系配置于电浆处理装置之处理室，供于前述处理室产生电浆而放出电浆激发用气体，其特征为：以簇射板为一体物，于此簇射板设有自电浆处理装置之气体导入口导入电浆激发用气体的横孔，以及连通此横孔并放出电浆激发用气体的纵孔；前述横孔系自簇射板之侧面朝向中心部设置。进而此横孔系沿簇射板之周缘方向设置复数个。 |
| 地址 |
日本 |
