| 摘要 |
<p>본 발명은 기판에 크랙(crack)이 생기는 현상을 방지할 수 있는 결정화 장치, 결정화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 기판이 수용되는 챔버; 및 상기 챔버 내에 서로 마주보도록 배치되는 제1 플래시 램프 및 제2 플래시 램프;를 구비하고, 상기 기판의 상기 제1 플래시 램프와 마주보는 제1 면 및 상기 기판의 상기 제2 플래시 램프와 마주보는 제2 면 상에 각각 비정질 실리콘층이 형성되는 것을 특징으로 하는 결정화 장치를 제공한다.</p> |
