| 摘要 |
L'invention concerne une installation d'inspection optique de circuits intégrés ou analogues, comportant : un système de prise de vues placé à l'aplomb d'une scène dans un plan défini par une première et une deuxième direction, le système de prise de vues comportant plusieurs caméras numériques (22) comportant chacune un réseau matriciel orthogonal de pixels, toutes les caméras ayant leurs axes optiques respectifs inclinés d'un premier angle par rapport à une troisième direction (Z) perpendiculaire aux deux autres ; et deux projecteurs (24) de motifs déterminés, ces motifs étant tels que deux droites projetées par chacun des projecteurs sont alignées dans le plan défini par les deux première directions (X, Y) et sont coplanaires à une droite (242) reliant les centres optiques des deux projecteurs.
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