局限环

摘要

于此描述为一种可用作电容耦合电浆处理腔室之元件的局限环。该局限环之内表面提供延伸电浆局限区域，该延伸电浆局限区域系围绕在上电极及下电极之间的间隙，在电浆处理期间半导体基板系于该腔室中被支持于该下电极上。