| 摘要 |
一种视觉对位装置之改良结构，系包含：一固定平台；四组旋转平移单元，各活动安装于固定平台上，四组旋转平移单元各具有一底层旋转元件，一随底层旋转元件旋转或产生相对旋转的顶层旋转元件，以及一随顶层旋转元件旋转且提供平移作用之平移元件；三个驱动单元，安装于固定平台上，并分别与四组旋转平移单元的其中三组连结，使二组旋转平移单元受二驱动单元往X(或Y)轴方向驱动，一组旋转平移单元受驱动单元往Y(或X)轴方向驱动；以及一量测平台，固定于四组旋转平移单元的平移元件上；藉此，当三个驱动单元作动时，透过三组主动式旋转平移单元及一组被动式旋转平移单元的底层旋转元件、顶层旋转元件或平移元件的各别或共同驱动，令量测平台往预定方向旋转位移。 |
