净化半导体制程废气之合氧供热装置

摘要

本创作提供一种净化半导体制程废气之合氧供热装置，包括罩设于处理槽顶部的头座，头座上设有废气导管与热管，该废气导管延伸至该处理槽内形成一朝下的废气排放口，该热管植入该处理槽内形成一沿该废气排放口方向延伸形成的管部，且该管部一端形成一热空气排放口，该热空气排放口系低于该废气排放口一特定距离，藉以供应热空气进入处理槽内，并增加废气与该热管产生之热源的接触时间，以净化废气中的有害物质。