| 发明名称 |
供气系统 |
| 摘要 |
一种供气系统，包括：气体柜、至少一个制程气体源、输气管路及至少一个线上纯化器。制程气体源设置于气体柜中，输气管路与气体源连接且延伸至气体柜之外，且线上纯化器设置于气体柜中的输气管路上。 |
| 申请公布号 |
TWM426864 |
申请公布日期 |
2012.04.11 |
| 申请号 |
TW100215802 |
申请日期 |
2011.08.24 |
| 申请人 |
联华电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
发明人 |
陈达义 |
| 分类号 |
H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |
