处理基材之方法与设备

摘要

本发明系揭示适用以研磨一基材之边缘的设备与方法，其包括：一研磨膜；一框架，其适用以将该研磨膜绷紧与装载该研磨膜，使得该研磨膜之至少一部分被支撑于一平面中；以及一基材旋转驱动器，其适用以旋转该基材抵靠该研磨膜之平面，从而使该研磨膜可以：施加张力至该基材；轮廓上相符于该基材之边缘，该边缘包括至少一外缘与一第一斜面；以及在该基材被旋转时研磨该外缘与该第一斜面。本发明亦提供其他态样。