侧向磁铁模组及具有该侧向磁铁模组之溅镀机

摘要

一种侧向磁铁模组，包含：一环形基座；复数个侧向磁铁单元，其横向间隔设置于该环形基座上，且每一个侧向磁铁单元包括一支撑架，该支撑架纵向设置至少一个磁铁，该磁铁之磁极系朝向该环形基座内侧。