晶舟之结构改良

摘要

本创作之晶舟系包括有：一顶板、一底板、复数支撑杆以及复数晶圆支撑件，复数支撑杆系垂直设置于该顶板与底板间，而各晶圆支撑件一端系等距间隔固定于该支撑杆，另端则朝上突出有支撑部，用以支撑接触于该晶圆远离边缘处，可避免加工期间该晶圆边缘产生缺角或缺陷。