| 摘要 |
本发明系有关于一种用来触碰式接触一电测试样本，特别是一晶圆，之接触装置(1)，其具有一"Kontaktkopf"(2)(接触头)及一连接装置(3)(连接器)，与该测试样本一起的该接触头(2)具有可触碰式接触的测试接点(6)，这些接点的位置分布在一测试表面(12)上且由至少一导引件(9)(在测试器侧的导引板)来决定，该导引件属于该接触头(2)且被紧固至该接触头(2)的一固持装置(11)(间隔件)上，及其中在面向远离该测试样本的侧边上的测试接点会被促成与该连接装置(3)(连接器，印刷电路板)的接触表面(13)电触碰式接触。该导引件(9)是由个别片段(individual segments)(17)所组成，每一个别片段都具有一部分的测试表面(12)且都藉由至少一固定式轴承(22)而连接至该固持装置(11)及/或该连接装置(3)。 |
