首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
晶圆机械手臂之驱动方法
摘要
本发明之机械手臂具有一可升降与旋转之复合运动轴心(15),滚珠螺帽(16)用来驱动第一皮带轮(6)之升与降,直线花键套筒(19)用来驱动第一皮带轮(6)之旋转。第一手臂(7)透过线性衬套组(2,5)由第五皮带轮(3)来带动使之旋转。第一手臂(7)和第一皮带轮(6)亦藉由复合运动之轴心(15)在垂直方向同时移动。
申请公布号
TWI362715
申请公布日期
2012.04.21
申请号
TW096122706
申请日期
2007.06.22
申请人
陈荣忠 高雄市三民区鼎勇街33巷4弄6号4楼
发明人
陈荣忠
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
高雄市三民区鼎勇街33巷4弄6号4楼
您可能感兴趣的专利
管线式ADC的管线组件电路及减少电容器失配误差的方法
使用数据总线反转讯号以减少同时的切换输出
太阳能电池的制造装置及太阳能电池的制造方法
使用增强的光捕获方案的薄膜光伏器件
延迟焦化工艺
一种用于发电机轴系计算的转子模块化数据生成方法
显示装置
灯泡固定装置
新的偶氮化合物、水溶液、墨组合物、喷墨记录用墨、喷墨记录方法、喷墨记录用墨盒以及喷墨记录物
一种大面积纳米缝电极阵列并行制造的方法
后处理装置
处理用于线路交换服务的服务拒绝的方法
医学设备输送系统
步长可变的四边形滚动机器人
一种涡旋并联压缩冷凝机组
基于保护报文的告警诊断方法及系统
基于LINUX操作系统的针织横机智能控制系统
一种具有互换性且无需安装配合公差的推力圆柱滚子轴承
节流调节型汽轮机转子热应力预估方法
一种太阳能风能低压海水淡化装置