发明名称 可防止气泡产生之狭缝式涂布装置
摘要 一种可防止气泡产生之狭缝式涂布装置,包含胶体储存机构、胶体中继机构、狭缝式涂布头机构以及帮浦机构。胶体储存机构包含压力桶、胶桶、胶管、阻气装置以及阀件。胶桶设置于压力桶中,用以储存胶体。胶管具有进胶端以及出胶端,且进胶端插设于胶桶中。阻气装置套设于进胶端上,用以防止胶管中之胶体自进胶端流出并且防止空气自进胶端进入胶管中。阀件连接于出胶端。胶体中继机构连接于阀件,用以暂存来自胶体储存机构之胶体。帮浦机构连接于胶体中继机构与狭缝式涂布头机构之间,用以将胶体自胶体中继机构供应至狭缝式涂布头机构。
申请公布号 TWM429123 申请公布日期 2012.05.11
申请号 TW100223566 申请日期 2011.12.14
申请人 盟立自动化股份有限公司 新竹市科学工业园区研发二路3号 发明人 黄进昌;桂武俊
分类号 G03F7/16;G02F1/133 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 新竹市科学工业园区研发二路3号;D RD. II, SCIENCE PARK, HSINCHU, 30077 TAIWAN, R. O. C.