撕膜装置及晶圆压膜设备

摘要

一种晶圆压膜设备，包含一机台，及设置在机台上的一撕膜装置、一支持单元与一压膜机构。撕膜装置将一覆膜自一披覆层撕除，支持单元支持相互依附的披覆层及覆膜，压膜机构包括一具有一电热压合面的上腔体。撕膜装置包含一切割单元及一覆膜移除机构。切割单元包括一刀具，刀具受驱动而沿披覆层平面移动，在覆膜切割出一切缝。覆膜移除机构包括一黏附件。黏附件受驱动黏附覆膜并位移而将覆膜撕离披覆层。本新型之功效在于：于覆膜形成一切缝，破坏撕膜时会产生的负压，再进行撕除覆膜的动作，使撕膜的制程能顺利运行。