背受光型影像感测器之制造方法

摘要

本发明揭示一种背受光型影像感测器之制造方法。提供一基底，其具有一第一导电型及一第一电位。在基底内形成具有一第二导电型的一空乏区。延伸空乏区。缩减基底的厚度。在基底的一背表面植入具有第一导电型及一第二电位的离子，以形成一掺杂层。对掺杂层进行雷射退火，以活化具有第一导电型的离子。本发明亦揭示一种背受光型影像感测器。