Vacuum evaporating sources with heaters deposited directly on the surface of crucible, the method of manufacturing and evaporator

摘要

본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.