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发明名称 TECHNIQUES FOR THE USE OF AMORPHOUS CARBONAPF FOR VARIOUS ETCH AND LITHO INTEGRATION SCHEME
摘要
申请公布号 KR101155141(B1) 申请公布日期 2012.07.06
申请号 KR20067017385 申请日期 2005.01.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/033;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/314 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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