发明名称 DISPOSITIF DE FORMATION D'UN RESEAU D'INTERFERENCES SUR UN ECHANTILLON
摘要 L'Invention est relative à un dispositif de formation d'un réseau d'interférences sur un échantillon, le dispositif comportant un laser émettant un faisceau lumineux de longueur d'onde λ, une lame séparatrice séparant le faisceau émis par le laser en un premier et un deuxième faisceaux, un premier miroir de renvoi fixe pour renvoyer le premier faisceau sur un point (P) de l'échantillon selon un premier angle d'incidence fixe &thetas; , ainsi qu'au moins un deuxième miroir de renvoi fixe pour renvoyer le deuxième faisceau selon une trajectoire finale (17) qui atteint ledit point (P) de l'échantillon selon un deuxième angle d'incidence 02, pour former sur l'échantillon un réseau d'interférences dont le pas dépend de la différence angulaire 0 entre le premier &thetas; le deuxième &thetas; angle d'incidence, le trajet du deuxième faisceau étant caractérisé en ce qu'il comporte un miroir de renvoi mobile (7, 7') pour diriger et renvoyer le deuxième faisceau depuis une pluralité de premiers points d'impact (71) à partir desquels le deuxième faisceau est dirigé vers une pluralité de deuxièmes points d'impact (82) d'un dit deuxième miroir (8, M ) en formant une pluralité de couples comportant un premier (71) et un deuxième (82) point d'impact, dont chacun correspond à une dite trajectoire finale (17) du deuxième faisceau avec une valeur différente de l'angle 02, de manière à faire varier la valeur de l'angle d'incidence 02 et donc de la différence angulaire 0, et en ce que les premiers points d'impact (71) sont disposés selon une trajectoire linéaire ou parabolique s'étendant depuis une extrémité amont éloignée de l'échantillon où elle est écartée de la direction du faisceau émis par le laser à l'opposé du tronçon du premier faisceau qui impacte ledit point (P) de l'échantillon (ECH), ladite trajectoire linéaire ou parabolique étant rentrante en direction dudit tronçon du premier faisceau jusqu'à une extrémité aval plus proche de l'échantillon (ECH), de manière à compenser au moins partiellement les variations de la longueur optique du deuxième faisceau pour les paires de premier (71) et deuxième (82) points d'impact dont chacune correspond à une valeur de la différence angulaire 0.
申请公布号 FR2970090(A1) 申请公布日期 2012.07.06
申请号 FR20110000014 申请日期 2011.01.04
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 LONGEAUD CHRISTOPHE
分类号 G02B27/10;G01R31/26;H01L31/042 主分类号 G02B27/10
代理机构 代理人
主权项
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