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发明名称 SUBSTRATE HEATING UNIT, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE UNIT, AND SUBSTRATE TREATING METHOD USING THE UNIT
摘要
申请公布号 KR101141154(B1) 申请公布日期 2012.07.13
申请号 KR20090089123 申请日期 2009.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/02 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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