透明导电薄膜及其制法

摘要

本发明提供一种透明导电薄膜及其制法，透明导电薄膜包括氧化锌主体以及氯、氟和硼离子共同掺杂入氧化锌主体中。其制法包括将复数个含锌、含氯、含氟和含硼的盐类化合物气化产生蒸气，这些盐类化合物可含有一种或一种以上的氯、氟和硼掺杂离子，将基板加热，以及于大气环境下，使蒸气与氧气反应，并沈积至基板上，以形成具有氯、氟和硼离子共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。