稳固研磨晶圆片之吸附转盘

摘要

本创作系指一种稳固研磨晶圆片之吸附转盘，系机台垂直向及水平向各设有气压移动机构，该垂直向移动机构连接有一研磨机构，而水平向移动机构则架设有一供晶圆片固定之旋转机构；其主要改良在于：该旋转机构上方转盘凹设之晶圆片凹槽面，设计有数向下开凿之串接通孔结构，藉此可供外部气压缸向下抽出气体功能，予提供快速稳定吸附上端置入晶圆片，俾达完全稳固平贴定位之高精密研磨抛光加工效率之产业利用性者。