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发明名称
Monomer deposition apparatus
摘要
申请公布号
KR101188109(B1)
申请公布日期
2012.10.05
申请号
KR20100092537
申请日期
2010.09.20
申请人
发明人
分类号
C23C14/12;H01L51/56
主分类号
C23C14/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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