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发明名称
Manufacturing method of sintered reaction bonded silicon nitride using precursors as nitridation catalysts and silicon nitride having nano structure using the same
摘要
申请公布号
KR101187646(B1)
申请公布日期
2012.10.05
申请号
KR20100091662
申请日期
2010.09.17
申请人
发明人
分类号
C01B21/068;B82B3/00;C04B35/584
主分类号
C01B21/068
代理机构
代理人
主权项
地址
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