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经营范围
发明名称
TRANSFER APPARATUS AND PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR101188487(B1)
申请公布日期
2012.10.05
申请号
KR20090049046
申请日期
2009.06.03
申请人
发明人
分类号
H01L21/677;B25J9/06;B65G49/06;G02F1/13
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
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